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기술은 감각이다, 밀론 블로그
[반도체공정] feat.jaeger 웨이퍼(wafer) Chapter 9 웨이퍼 세정
반도체 8대 공정 순서1. 실리콘 웨이퍼 제조 공정2. 산화공정(Oxidation)3. 포토공정(Photo)4. 식각공정(Etching)5. 증착공정(Deposition) - 확산(Deposition) - 이온주입(Ion implantation) 6. 금속배선공정(Metalliztion)7. EDS 공정(Electrical Die Sorting)8. 패키지공정(Package) 목차9.1 개요9.2 결함9.3 Clean room의 청정도 단위9.4 습식 화학세정9.5 불순물 9.1 개요웨이퍼 세정 기술은 크게 3가지wet cleaning(습식 세정) : 물리 씻는 것.dry cleaning(건식 세정) : 바람으로 부는 것.vapor cleaning(증기 세정) : 증기로 부는 것.이중 ..
반도체/[공정 1] 웨이퍼(wafer) 제조
2024. 11. 12. 13:41