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기술은 감각이다, 밀론 블로그
[반도체공정] feat.jaeger 산화(Oxidation) Chapter 3.4 산화막 전하 분포
반도체 8대 공정 순서1. 실리콘 웨이퍼 제조 공정2. 산화공정(Oxidation)3. 포토공정(Photo)4. 식각공정(Etching)5. 증착공정(Deposition) - 확산(Deposition) - 이온주입(Ion implantation) 6. 금속배선공정(Metalliztion)7. EDS 공정(Electrical Die Sorting)8. 패키지공정(Package) 3.4. 산화막 전하 분포산화막 내에서는 여러 가지 종류의 성질을 가진 전하가 분포합니다.Mobile ionic charge(이동 이온 전하, Q_m)Oxide trapped charge(산화막 포획전하, Q_ot)Fixed oxide charge(고정산화전하, Q_f)interface trapped charge(계..
반도체/[공정 2] 산화(thermal oxidation)
2024. 10. 6. 09:50