기술은 감각이다, 밀론 블로그

왜 평탄화가 필요한가?현대 반도체는 수십 개의 금속 배선층과 수 나노미터 수준의 패턴을 동시에 구현한다. 해상도는 극한까지 끌어올렸고, EUV와 고 NA 광학 시스템은 이제 수십 nm 수준의 공정 윈도우에서 동작하고 있다.Ai의 등장으로 인해 이러한 기술의 발전은 더 가속화되고 있다.대표적인 예로 HBM. 메모리 다이를 적층 하는 구조다. 그래서, 한 가지 질문이 생긴다. "이렇게 공정들이 정밀한데, 그럼 과연 울퉁불퉁한 표면 위에서도 정확하게 정확하게 잘 동작할 수 있을까?"리소그래피는 빛을 이용한 공정이다. 빛은 초점이 이상해지면 흐려지고 패턴은 왜곡된다. 이 초점 허용 범위를 피사계 심도(Depth of focus, DOF)라 한다. 문제는, 해상도가 높아질수록 DOF가 줄어든다는 점이다. 아주 ..