기술은 감각이다, 밀론 블로그

반도체 8대 공정 순서1. 실리콘 웨이퍼 제조 공정2. 산화공정(Oxidation)3. 포토공정(Photo)4. 식각공정(Etching)5. 증착공정(Deposition)     - 확산(Deposition)     - 이온주입(Ion implantation) 6. 금속배선공정(Metalliztion)7. EDS 공정(Electrical Die Sorting)8. 패키지공정(Package)dry etch는 여러 종류가 있습니다.이온빔 스퍼터링 식각(Ion beam spuutering etching)RF 스퍼터링 식각(RF sputtering etching)반응건식식각화학적 반응 건식 식각 (chemical dry etching)하나하나 씩 살펴보겠습니다. 2.2.2. Dry Etch(건식 식각)건식식각을..