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[반도체공정 feat.jaeger] 확산(Diffusion) Chapter 4.10 - 실리콘에서의 불순물 재료
반도체 8대 공정 순서1. 실리콘 웨이퍼 제조 공정2. 산화공정(Oxidation)3. 포토공정(Photo)4. 식각공정(Etching)5. 증착공정(Deposition) - 확산(Deposition) - 이온주입(Ion implantation) 6. 금속배선공정(Metalliztion)7. EDS 공정(Electrical Die Sorting)8. 패키지공정(Package)지금까지 확산이론과 종류, 확산의 정도와 깊이에 대해 다뤘습니다.이제는 실리콘 기판에 사용되는 불순물 재료들을 이야기하겠습니다. 이 불순물 재료는 고체, 액체, 기체 등으로 분류가 가능합니다.추가적으로 아래 13~15족 원소들이 반도체에서 자주 이용되는 원소들입니다.옥텟 규칙(Octet Rule)에 의하면 가장 안정화된..
반도체/확산(diffusion)
2024. 7. 25. 14:26