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기술은 감각이다, 밀론 블로그
[반도체공정 feat.jaeger] 식각(Etch) Chapter 2.1 - 식각의 방향은?
반도체 8대 공정 순서1. 실리콘 웨이퍼 제조 공정2. 산화공정(Oxidation)3. 포토공정(Photo)4. 식각공정(Etching)5. 증착공정(Deposition) - 확산(Deposition) - 이온주입(Ion implantation) 6. 금속배선공정(Metalliztion)7. EDS 공정(Electrical Die Sorting)8. 패키지공정(Package) 식각을 할 때에는 방향도 매우 중요합니다. 식각은 다음처럼 나눠 볼 수 있습니다.등방성 식각 (isotropic etching) : 결정방향 변화에 식각속도 변화 없음.비등방성 식각 (anisotropic etching) : 결정방향 변화에 시각속도 변화 있음.등방성 식각은 결정방향에 따른 식각속도 변화가 거의 없는 ..
반도체/[공정 4] 식각 공정(etching process)
2024. 7. 29. 14:00